電子顕微鏡液冷応用

電子顕微鏡は鏡筒、真空装置、電源キャビネットから構成されます。 鏡筒には主に電子源、電子レンズ、サンプルラック、蛍光板、検出器、その他のコンポーネントが含まれており、通常は上から下まで一列に組み立てられます。 真空装置は、電子がその経路上で吸収されたり偏ったりしないように、顕微鏡内の真空状態を確保するために使用されます。 機械式真空ポンプ、拡散ポンプ、真空バルブから構成され、エア抜きパイプを介して鏡筒と接続されています。 電源キャビネットは、高電圧発生器、励起電流レギュレータ、およびさまざまな調整および制御ユニットで構成されます。

電子顕微鏡が作動すると比較的大きな熱が発生しますが、その熱源は電源キャビネットです。 夏は気温が高く、作業効率や精度に大きな影響を与えるとの回答がよくあります。 電子顕微鏡装置は部品と基板との距離が近く、放熱スペースが狭い。 したがって、室内温度を 25 ± 2 度以内に保つように特別な注意を払う必要があります。 一部の放熱部品はパワー部品を内蔵しており、自然放熱方式を採用しているため、周囲の空間を遮るものがないように注意してください。 同時に、熱放散を妨げるため、表面のカバープレートの上に物を置かないでください。

一方で、新たな放熱技術も考えられます。 例えば、液体冷却による放熱は電子顕微鏡の放熱にも応用できます。 液体冷却の静粛性、効率性、長寿命の特性により、放熱技術の新たな道が開かれます。 したがって、液体冷却は高精度機器でますます広く使用されるでしょう。